MO源指的是高纯金属有机化合物,是用于制造半导体微结构材料的关键支撑材料。在半导体行业中,MO源通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)和金属有机分子束外延(MOMBE)等技术,帮助生长如氮化镓、砷化镓等化合物半导体材料。这些材料因其优异的电学、光学和磁学性能,能够推动半导体和集成电路技...
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